任何材料都有与外界接触表面或与其他材料区分的界面,材料的表界面在材料科学中占有重要的地位。XPS 是研究材料表面和界面元素化学信息的重要手段，可提供材料最表面10nm（~30 个原子层）内的元素定性、定量信息和化学状态信息；可检测从Li 到U 的所有元素的定量和化学态分析检测，结合REELS 功能还可进一步对有机物和储氢材料中的H 元素含量进行检测；同时利用UPS（紫外光电子能谱）可研究固体样品的价带能级结构及功函数等信息，结合REELS 功能可进一步对半导体的带隙、导带信息等进行探测。