扫描电镜-能谱分析仪是扫描电子显微镜和能谱仪联用的组合。主要应用在Ø固体样品表面微区形貌观察；材料断口形貌及其内部结构分析；微粒或纤维形状观察及其尺寸分析；固体样品表面微区成分的定性和半定量分析。